9月22日，由清华大学牵头，联合北京大学、上海交通大学、东南大学、重庆大学、天津大学等六所高校发起，携手淄博国家高新区MEMS研究院、陕西宝成航空仪表有限责任公司、中国空空导弹研究院、中国兵器工业集团第二一四研究所、北京遥测技术研究所、中国电子科技集团公司第五十五研究所、中国航天科技集团钱学森空间实验室组建培育的“微纳制造、器件与系统协同创新中心”（以下简称“中心”）在清华大学主楼接待厅举行了培育启动仪式大会。我校MEMS教育部重点实验室主任黄庆安教授、科研院重大专项与协同创新办公室主任任刚教授作为协同单位代表参加了培育启动仪式。
清华大学薛其坤副校长代表学校对参加中心启动仪式的各单位代表和各位嘉宾表示了欢迎。薛其坤表示，目前以MEMS技术为代表的微米纳米技术在我国的发展已经进入重要的机遇期，迫切需要大力推进微米纳米技术领域的协同创新，支撑国家经济和社会发展方式的转变。薛其坤强调，针对微米纳米技术领域的学科特点，由具备创新优势的一流高校、国家高新区MEMS研究院和我国重点行业的工业应用部门联合培育组建“微纳制造、器件与系统协同创新中心”意义重大。
会上，中心主任尤政教授介绍了“微纳制造、器件与系统协同创新中心”培育组建的简要情况。协同创新单位代表签署了“微纳制造、器件与系统协同创新中心”组建培育协议。薛其坤副校长宣布了中心主任、科学顾问委员会的名单，并为中心主任尤政教授，中心科学顾问委员会主任丁衡高院士、副主任金国藩院士等颁发了聘书。随后，薛其坤副校长和丁衡高院士为中心揭牌。
重庆大学李茂国副校长代表协同创新高校讲话。他表示，各协同创新高校一致同意由清华大学牵头联合组建培育中心，并承诺将整合各自的资源，从财力、物力、人力、政策上全力支持中心的建设。北京遥测技术研究所所长李艳华代表协同创新工业部门讲话。他强调，“微纳制造、器件与系统协同创新中心”整合了国内微米纳米技术领域的创新力量和资源，各协同创新工业部门与各高校之间有着良好的合作基础，并承诺利用自身在微米纳米技术领域的资源和行业优势，深入推进实质性的产、学、研协同创新。
最后，中心科学顾问委员会主任丁衡高院士讲话。他指出，以MEMS技术为代表的微米纳米技术是一项面向21世纪的军民两用技术，中心的组建培育非常及时。丁衡高强调，MEMS技术在医疗卫生领域、国家急需的发动机、燃气轮机方面以及恶劣环境应用的前沿科学问题是中心面临的首要任务。